Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions präsentiert die mehrstufigen Roots-Vakuumpumpen UltiDry
Posted by PM-Ersteller - 20/02/26 at 12:02:13 p.m.Die UltiDry wurde für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen entwickelt und kombiniert robuste Leistung mit hoher Energieeffizienz und Prozessflexibilität.
Die Vakuumpumpen sind darauf ausgelegt, korrosiven Gasen, aggressiven Nebenerzeugnissen und hohen Pulverbelastungen standzuhalten. Ihre ölfreie, mehrstufige Verdichtung gewährleistet eine saubere, trockene Vakuumerzeugung ohne Verunreinigungen. Damit ist die UltiDry ideal für Prozesse wie chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Atomlagenabscheidung (ALD) und physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) geeignet.
Patentiertes Spülsystem und erhebliche Energieeinsparungen
Zu den wichtigsten Innovationen der UltiDry gehört ihr patentiertes Spüleinspritzsystem, das entwickelt wurde, um die Vakuumpumpe durch Ausspülen von Schadstoffen wie Pulver zu schützen. Diese Funktion gewährleistet stabile Leistung und reibungslosen Betrieb, selbst in Prozessen mit hoher Pulverbelastung.
Für Halbleiterfabriken stellt der Energieverbrauch einen großen Kostenfaktor dar. Mit ihrem optimierten mehrstufigen Roots-Design bietet die UltiDry im Vergleich zu anderen Vakuumpumpen ihrer Klasse Energieeinsparungen von bis zu 87 %. Das reduziert nicht nur den CO?-Fußabdruck, sondern unterstützt Kunden auch dabei, ihre Ziele in Sachen Nachhaltigkeit und Kosteneffizienz zu erreichen.
Die Vakuumpumpen arbeiten in einem großen Temperaturbereich von 50 °C bis 270 °C zuverlässig und passen sich flexibel an unterschiedliche Prozessanforderungen an. Damit eignen sie sich gleichermaßen für temperaturempfindliche Beschichtungsprozesse und korrosive Halbleiteranwendungen. Durch einen stabilen Betrieb auch bei schwankenden Temperaturen unterstützt die UltiDry gleichbleibende Produktqualität und lange Wartungsintervalle. Mit einer Kombination aus korrosionsbeständiger Beschichtung, reduziertem Spülgasverbrauch und hoher Energieeffizienz ist die UltiDry eine langlebige, wartungsarme Lösung für anspruchsvolle Produktionsumgebungen.
Verantwortlicher für diese Pressemitteilung:
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
Frau Sandra Thirtle-Höck
Berliner Straße 43
35614 Aßlar
Deutschland
fon ..: 06441 802 – 1460
web ..: https://www.pfeiffer-vacuum.com/global/de/
email : sandra.hoeck@pfeiffer-vacuum.com
Über die Busch Group
Die Busch Group ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Kompressoren, Kammern und Abgasreinigungssystemen. Unter ihrem Dach vereint sie die beiden bekannten Marken Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.
Das umfangreiche Produkt- und Serviceangebot umfasst Lösungen für Vakuum-, Überdruck- und Abgasreinigungsanwendungen in allen Branchen, wie zum Beispiel Lebensmittel, Halbleiter, Analytik, Chemie und Kunststoff. Dazu gehören auch die Konzeption und der Bau maßgeschneiderter Vakuumsysteme sowie ein weltweites Servicenetz.
Die Busch Group ist ein Familienunternehmen, dessen Leitung in den Händen der Familie Busch liegt. Mehr als 8.000 Mitarbeiter in 47 Ländern weltweit arbeiten für die Gruppe. Der Hauptsitz von Busch befindet sich im baden-württembergischen Maulburg, im Dreiländereck Deutschland-Frankreich-Schweiz.
Die Busch Group produziert in ihren 20 eigenen Werken in China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Indien, Rumänien, der Schweiz, Südkorea, Tschechien, den USA und Vietnam.
Sie hat einen konsolidierten Jahresumsatz von 2 Milliarden Euro.
Pressekontakt:
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
Frau Sandra Thirtle-Höck
Berliner Straße 43
35614 Aßlar
fon ..: 06441 802 – 1460
email : sandra.hoeck@pfeiffer-vacuum.com
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions präsentiert die neue Turbopumpe ATH 4506 M
Posted by PM-Ersteller - 19/01/26 at 12:01:52 p.m.Pfeiffer hat sein Portfolio an Turbomolekular-Vakuumpumpen um die ATH 4506 M ergänzt – das größte Modell der ATH-M Baureihe.
Mit einem Saugvermögen von 4.500 l/s für Stickstoff eignet sich die neue Turbopumpe für Prozesse in der Halbleiterproduktion, der Großflächenbeschichtung und anderen Anwendungen, bei denen ein hoher Gasdurchsatz erforderlich ist, etwa bei der Evakuierung großer Vakuumkammern für die Weltraumsimulation.
Plug&Play-Betrieb mit integriertem Controller
Die ATH 4506 M verfügt über einen integrierten Controller, der separate externe Steuereinheiten überflüssig macht, die Installation vereinfacht und den für das Systemsetup benötigten Platz reduziert. In nur neun Minuten erreicht die Vakuumpumpe ihre volle Drehzahl von 23.500 Umdrehungen pro Minute (U/Min), sodass Herstellungsprozesse schnell anlaufen können. Ein Energiesparmodus senkt die Leistungsaufnahme bei Inaktivität und trägt so zu einem energieeffizienten Betrieb bei.
Auf die Prozessanforderungen abgestimmtes Temperaturmanagement
Je nach Prozessbedingungen sind unterschiedliche Betriebstemperaturen erforderlich. Aus diesem Grund ist die ATH 4506 M in zwei Ausführungen erhältlich:
* Eine unbeheizte Variante für saubere, korrosionsfreie Anwendungen, die keine zusätzliche Heizung benötigen – zum Beispiel
in der Großflächenbeschichtung.
* Eine Ausführung mit einem Temperaturmanagementsystem (TMS) bis 90 °C für die Halbleiterproduktion und andere
korrosive Prozesse, bei denen eine moderate Beheizung Kondensation und Partikelbildung verhindert.
Indem sie die Temperatur der Vakuumpumpe an den Prozess anpasst, minimiert die ATH 4506 M Kondensation und Partikelansammlungen im Pumpeninneren, reduziert den Verschleiß interner Bauteile und verhindert ungeplante Stillstandszeiten. Dies führt zu höherer Zuverlässigkeit, konstanter Produktqualität und niedrigeren Gesamtbetriebskosten für den Nutzer.
Zustandsüberwachung und digitale Integration
Die ATH 4506 M ist mit internen Sensoren zur Überwachung von Temperatur, Spülbedingungen, Drehzahl und außeraxialer Bewegung ausgestattet. Anhand dieser Messungen kann der Betreiber den Zustand der Vakuumpumpe in Echtzeit überwachen und so Unregelmäßigkeiten frühzeitig erkennen. Dies hilft, ungeplante Stillstandszeiten zu vermeiden, und erleichtert die vorausschauende Wartung. Da die Vakuumpumpe IoT-fähig ist, kann sie an digitale Überwachungssysteme angeschlossen und somit in automatisierte Produktionsumgebungen integriert werden.
Mit der Schutzart IP54 ist die Vakuumpumpe gegen Staub und Spritzwasser geschützt. Dies erhöht ihre Widerstandsfähigkeit in anspruchsvollen Industrieumgebungen und verlängert ihre Lebensdauer.
Verantwortlicher für diese Pressemitteilung:
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
Frau Sandra Thirtle-Höck
Berliner Straße 43
35614 Aßlar
Deutschland
fon ..: 06441 802 – 1460
web ..: https://www.pfeiffer-vacuum.com/global/de
email : sandra.hoeck@pfeiffer-vacuum.com
Über die Busch Group
Die Busch Group ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Kompressoren und Abgasreinigungssystemen. Unter ihrem Dach vereint sie die beiden bekannten Marken Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Die bisher von centrotherm clean solutions – einer ehemaligen Marke der Busch Group – angebotenen Abgasreinigungssysteme sind nun Teil des Pfeiffer Portfolios.
Das umfangreiche Produkt- und Serviceangebot umfasst Lösungen für Vakuum-, Überdruck- und Abgasreinigungsanwendungen in sämtlichen Branchen, wie zum Beispiel Lebensmittel, Halbleiter, Analytik, Chemie und Kunststoff. Dazu gehören auch die Konzeption und der Bau maßgeschneiderter Vakuumsysteme sowie ein weltweites Servicenetz.
Die Busch Group ist ein Familienunternehmen, dessen Leitung in den Händen der Familie Busch liegt. Mehr als 8.000 Mitarbeiter in 44 Ländern weltweit arbeiten für die Gruppe. Der Hauptsitz von Busch befindet sich im baden-württembergischen Maulburg, im Dreiländereck Deutschland – Frankreich – Schweiz.
Die Busch Group produziert in ihren 23 eigenen Werken in China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Indien, Rumänien, der Schweiz, Südkorea, Tschechien, den USA und Vietnam.
Sie hat einen konsolidierten Jahresumsatz von fast 2 Milliarden Euro.
Pressekontakt:
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
Frau Sandra Thirtle-Höck
Berliner Straße 43
35614 Aßlar
fon ..: 06441 802 – 1460
email : sandra.hoeck@pfeiffer-vacuum.com
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions stellt auf der Semicon Europa Vakuumtechnologie und Abgasreinigungssysteme vor
Posted by PM-Ersteller - 27/10/25 at 11:10:49 a.m.Innovative Technologie von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, ein Mitglied der Busch Group, präsentiert vom 18. bis 21. November 2025 auf der Semicon Europa 2025 in München.
Besucher der Semicon Europa dürfen sich auf innovative Vakuumtechnologie und Abgasreinigungssysteme freuen, die in Halbleiterfabriken und von OEMs eingesetzt werden. An Stand 561 in Halle B1 können sie sich mit Experten von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions über Vakuumpumpen, Lecksucher, Abgasreinigungssysteme und Ventile austauschen. Hier sehen Messebesucher die Highlights von Pfeiffer, darunter Vakuumpumpen und Abgasreinigungssysteme.
Vakuumpumpen für anspruchsvolle Halbleiterumgebungen
Die mehrstufige Roots-Vakuumpumpe UltiDry kombiniert Robustheit mit einem geringen Energiebedarf. Sie wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt und eignet sich perfekt für anspruchsvolle Anwendungen. Die UltiDry ist für hohe Volumenströme, schwierige Betriebsbedingungen und korrosive Gase ausgelegt und bietet gleichzeitig ein hervorragendes Pulvermanagement und eine hohe Energieeffizienz.
Bessere Luftqualität dank thermischer Abgasreinigung
Die Abgasreinigungssysteme von Pfeiffer gewährleisten sichere und umweltfreundliche Halbleiterprozesse. Sie dienen in erster Linie dazu, schädliche Emissionen zu verringern und die Luftqualität zu verbessern. Durch den Einsatz innovativer Technologien bewältigen und neutralisieren diese Systeme effizient die in der Halbleiterproduktion entstehenden gefährlichen Gase und Dämpfe.
Interaktives Erlebnis mit Branchenexperten
Ein besonderes Highlight am Stand von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions zeigt, wo die verschiedenen Technologien von Pfeiffer in der Halbleiterproduktion zum Einsatz kommen: Ein interaktives, im 3D-Druckverfahren hergestelltes Modell einer Halbleiterfabrik vermittelt den Besuchern einen realistischen und anschaulichen Eindruck von den umfassenden Fab-Lösungen.
Verantwortlicher für diese Pressemitteilung:
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
Frau Sandra Thirtle-Höck
Berliner Straße 43
35614 Aßlar
Deutschland
fon ..: 06441 802 – 1460
web ..: https://www.pfeiffer-vacuum.com/global/de
email : sandra.hoeck@pfeiffer-vacuum.com
Über die Busch Group
Die Busch Group ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Kompressoren und Abgasreinigungssystemen. Unter ihrem Dach vereint sie die beiden bekannten Marken Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Die bisher von centrotherm clean solutions – einer ehemaligen Marke der Busch Group – angebotenen Abgasreinigungssysteme sind nun Teil des Pfeiffer Portfolios.
Das umfangreiche Produkt- und Serviceangebot umfasst Lösungen für Vakuum-, Überdruck- und Abgasreinigungsanwendungen in sämtlichen Branchen, wie zum Beispiel Lebensmittel, Halbleiter, Analytik, Chemie und Kunststoff. Dazu gehören auch die Konzeption und der Bau maßgeschneiderter Vakuumsysteme sowie ein weltweites Servicenetz.
Die Busch Group ist ein Familienunternehmen, dessen Leitung in den Händen der Familie Busch liegt. Mehr als 8.000 Mitarbeiter in 44 Ländern weltweit arbeiten für die Gruppe. Der Hauptsitz von Busch befindet sich im baden-württembergischen Maulburg, im Dreiländereck Deutschland – Frankreich – Schweiz.
Die Busch Group produziert in ihren 23 eigenen Werken in China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Indien, Rumänien, der Schweiz, Südkorea, Tschechien, den USA und Vietnam.
Sie hat einen konsolidierten Jahresumsatz von fast 2 Milliarden Euro.
Pressekontakt:
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
Frau Sandra Thirtle-Höck
Berliner Straße 43
35614 Aßlar
fon ..: 06441 802 – 1460
email : sandra.hoeck@pfeiffer-vacuum.com
Search
