Niedrigste Drücke messen mit der Druckmesszelle SM95G
Posted by PM-Ersteller - 10/02/26 at 04:02:13 p.m.Für hohe Stückzahlen bietet AMSYS präzise MEMS-Druckmesszellen von SMI – vom Niedrigst- bis Hochdruck, optimal für kompakte Designs und millionenfach bewährt in HVAC-, Medizin- und Automobiltechnik.
Zur Druckmessung in Geräten mit hohen Stückzahlen bieten sich Druckdies an, die noch besser als die kompakten SOIC-Sensoren in den zur Verfügung stehenden Bauraum eingepasst werden können. Für diese Anwender bietet AMSYS neben bereits gehäusten Sensoren auch die reinen Mikromechanische Druckmesszellen auf Siliziumbasis (MEMS) an. Die MEMS haben längst die mechanischen Messaufnehmer mit elastischen Membranen verdrängt und sich z.B. in der Belüftungstechnik (HVAC) sowie in der Medizin- als auch Automobiltechnik millionenfach bewährt.
Amsys vertreibt seit über 20 Jahren Druckmesszellen von Silicon Microstructures, Inc. (SMI). Dabei wird die komplette Palette für alle Druckarten und -bereiche angeboten. Es wird unterschieden in Differenz-/Relativdruck- und Absolutdruckmesszellen, letztere auch für raue Einsatzbedingungen. Hier ist insbesondere der SM97A als Nachfolger des SM98A für 150 und 300 psi (10 und 20 bar) zu nennen.
Niedrigste Differenzdrücke von unter 0,15 psi bis 1,5 psi (10 mbar – 100 mbar) können dagegen mit dem SM95G gemessen werden. Diese auch als SM9520A bekannten Niederdruckmesszellen haben zur Erhöhung der Sensitivität ein biegesteifes Membranzentrum durch Mikrostrukturierung der Messzelle eingearbeitet. Durch eine zusätzliche Maskierung und Ätzung am Ende des Herstellungsprozesses gelingt es, die Membran auf der Rückseite reliefartig zu strukturieren und im Zentrum flächig zu verstärken. Die Membranrückseite erhält hierdurch eine symmetrische Flächenverdickung. Die lateralen Abmessungen, die Dicke und die Ebenheit dieser Verdickung sind kritische Größen, die aufwendig kontrolliert und optimiert werden müssen.
Durch dieses biegesteife Zentrum erreicht man bei Druckbeaufschlagung eine stärkere Membrandurchbiegung in den Randbereichen. Zusammen mit angepassten Positionen der Piezowiderstände weist der SM95G ein Maximum an Sensitivität von bis zu 300 mV/psi bei höchster Linearität (±0,1%) auf.
Das Angebot von Messzellen bei AMSYS wird komplettiert durch die Differenzdruckdies SM30D (Nachfolger des SM30G) und SM30G-Pt für mittlere Drücke zwischen 5 und 30 psi (350 mbar bzw. 2 bar) sowie den ultrakompakten Absolutdruckdie SM5108E für 30, 60 und 100 psi (2, 4 und 7 bar).
Herausragende Eigenschaften
o 0 – 0,15 psi (10 mbar), 0 – 0,6 psi (40 mbar) und 0 – 1,5 psi (100 mbar) Differenzdruck
o Sensitivität von typ. 45mV (0,15 psi), 90 mV (0,6 psi) bzw. 95 mV (1,5 psi) bei 5 Vdd
o Linearität von ±0,1% (Oberseite) bzw. ±0,2% (Unterseite)
o nur 2,1 x 2,1 mm² groß
Mehr finden Sie unter: www.amsys.de
Verantwortlicher für diese Pressemitteilung:
AMSYS GmbH & Co. KG
Herr V. Fruci
An der Fahrt 4
55124 Mainz
Deutschland
fon ..: 061314698750
web ..: https://www.amsys.de
email : info@amsys.de
AMSYS GmbH & Co. KG ist ein deutsches Unternehmen spezialisiert auf Sensorik, insbesondere Druckmesstechnik. Das Sortiment umfasst Drucksensoren von 1,25 mbar bis 800 bar, Feuchtigkeits-, Temperatur- und Neigungssensoren sowie kabellose Lösungen. Neben Standardprodukten bietet AMSYS kundenspezifische Anpassungen an.
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Hochpräzise Druckmessung mit Druckmesszellen-Serie von AMSYS
Posted by PM-Ersteller - 21/10/25 at 10:10:06 a.m.AMSYS präsentiert hochpräzise MEMS-Druckmesszellen für Anwendungen in Medizintechnik, Automobil- und Belüftungssystemen – kompakt, empfindlich und zuverlässig für niedrigste Differenzdrücke.
AMSYS bietet ein breites Portfolio an Mikromechanischen Druckmesszellen auf Siliziumbasis (MEMS) an, die sich bereits millionenfach in der Belüftungstechnik (HVAC), der Medizintechnik sowie in der Automobilindustrie bewährt haben. Diese Technologie hat mechanische Messaufnehmer mit elastischen Membranen weitgehend ersetzt und ermöglicht eine hochpräzise Erfassung niedrigster Drücke.
Insbesondere niedrigste Differenzdrücke von unter 0,15 psi bis 1,5 psi (10 mbar – 100 mbar) können mit dem SM9520A gemessen werden. Durch eine innovative Mikrostrukturierung der Messzelle wurde ein biegesteifes Membranzentrum integriert, das eine verstärkte Durchbiegung in den Randbereichen der Membran ermöglicht. Eine zusätzliche Maskierung und Ätzung am Ende des Herstellungsprozesses sorgt für eine reliefartige Strukturierung der Membranrückseite und eine symmetrische Flächenverdickung. Dies steigert die Sensitivität des SM9520A auf bis zu 300 mV/psi bei einer außergewöhnlich hohen Linearität von ±0,1%.
Neben bereits gehäusten Sensoren bietet AMSYS auch reine MEMS-Druckmesszellen an, die sich durch ihre kompakte Bauweise perfekt in Geräte mit hohen Stückzahlen integrieren lassen. Die Druckdies ermöglichen eine noch bessere Anpassung an den zur Verfügung stehenden Bauraum als herkömmliche SOIC-Sensoren.
Seit fast 30 Jahren vertreibt AMSYS Druckmesszellen für alle Druckarten und -bereiche. Die Produktpalette umfasst Differenz-, Relativ- und Absolutdruckmesszellen, letztere auch für raue Einsatzbedingungen. Besonders hervorzuheben ist der SM97A, der als Nachfolger des SM98A für 150 und 300 psi (10 und 20 bar) entwickelt wurde.
Das Produktportfolio wird abgerundet durch die Differenzdruckdies SM30F (Nachfolger des SM30G) sowie den ultrakompakten Absolutdruckdie SM5108E, der in Varianten für 30, 60 und 100 psi (2, 4 und 7 bar) verfügbar ist. Damit bietet AMSYS die ideale Lösung für Anwendungen mit höchsten Anforderungen an Präzision und Sensitivität.
Weitere Informationen und Produktlinks unter: Pressemitteilung und Produktlinks auf www.amsys.de
Anwendungsgebiete
o Patienten-Monitore
o Blutdruck-Monitore
o Sauerstoffkonzentratoren
o Flüssigkeitsabsaugung
o Beatmungsgeräte
o Industrielle Steuerungen
o Kompressoren & Pumpen
o Druckschalter
o Haushaltsgeräte
o Pneumatische Messgeräte
o Handmessgeräte
o Barometrische Messung
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AMSYS GmbH & Co. KG ist ein deutsches Unternehmen spezialisiert auf Sensorik, insbesondere Druckmesstechnik. Das Sortiment umfasst Drucksensoren von 1,25 mbar bis 800 bar, Feuchtigkeits-, Temperatur- und Neigungssensoren sowie kabellose Lösungen. Neben Standardprodukten bietet AMSYS kundenspezifische Anpassungen an. Mehr unter www.amsys.de.
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Neue LHD-Serie von First Sensor erfasst niedrigste Drücke hochgenau und deckt Druckbereich von 0 – 5000 Pa ab
Posted by PM-Ersteller - 24/03/20 at 11:03:59 a.m.Differenzdrucksensoren auf Basis thermischer Mikroströmungsmessung schließen Lücke im Markt
Mit der neuen LHD-Serie präsentiert First Sensor erstmals eine außergewöhnliche 2-in-1-Lösung im Segment hochgenauer Differenzdrucksensoren: zwei Sensorelemente mit unterschiedlich hohen Druckbereichen in einem einzigen Gehäuse integriert.
Die LHD-Serie arbeitet auf Basis thermischer Mikroströmungsmessung und profitiert von der First Sensor-eigenen Schlüsseltechnologie der Integration des Mikroströmungskanals sowie des thermischen MEMS-Sensorelements auf einem Si-Chip.
Die neu vorgestellte Serie bietet eine ungewöhnlich große Dynamik bei einem maximalen Druckbereich von 0 bis 5.000 Pa. Das erste, hochempfindliche, Sensorelement kann Druckschwankungen unter 1 Pa genau auflösen, während das zweite Element den Messbereich auf bis zu 5.000 Pa erweitert.
Weitere Vorteile der LHD-Serie von First Sensor sind die ausgesprochen hohe Strömungsimpedanz in Kombination mit der geringen Durchflussleckage sowie die damit verbundene hohe Widerstandsfähigkeit gegen Staub und Feuchtigkeit. Auch wenn bei einer Anwendung lange Schlauchverbindungen unvermeidlich sind, entsteht dadurch keine Beeinträchtigung des Sensor-Ansprechverhaltens oder der Genauigkeit.
Auf der anderen Seite kann die Serie dank patentierter Echtzeit-Offset-Kompensation und Linearisierungstechniken mit einer hervorragenden Langzeitstabilität und maximaler Präzision aufwarten. Die Gesamtgenauigkeit liegt bei 1,5 Prozent des gemessenen Wertes und das über die gesamte Bandbreite von 1 bis 100 Prozent des Skalenendwertes. Die Offset-Genauigkeit liegt bei ±0,02 Pa im Jahr.
Ausgestattet sind die Modelle der LHD-Serie mit einem linearisierten, digitalen I²C- oder SPI-Ausgang, ferner mit einem integrierten On-Chip-Temperatursensor sowie einem Barometer.
So viel Inhalt kommt mit erstaunlich wenig Platz aus: Das SMD-Gehäuse ist gerade einmal 7,4 Millimeter hoch. Mit seinen vertikalen Druckanschlüssen eignet es sich auch hervorragend für die Manifoldmontage.
Mit der LHD-Serie von First Sensor steht kein Anwender mehr vor der Entscheidung, ob er im unteren oder oberen Bereich seiner Druckanwendung hochpräzise messen möchte. Hier bestand bis jetzt eine Lücke im Markt – die von der LHD-Serie nun geschlossen wird. Insgesamt stehen drei Druckbereiche zur Auswahl: 1.250 Pa, 2.500 Pa sowie 5.000 Pa. Die Modelle der Serie sind sowohl als uni- wie auch als bidirektionale Version verfügbar.
Die wichtigsten Merkmale der LHD-Differenzdrucksensoren:
o Hoher Dynamikbereich für Drücke bis 5.000 Pa (> Faktor 50 im Vergleich zur Standard L-Serie)
o Herausragende Beständigkeit gegenüber staubbeladener und feuchter Luft
o Sehr flache Bauhöhe, geeignet für Manifoldmontage
Die neuen LHD-Differenzdrucksensoren sind geeignet für Medizintechnik-Anwendungen wie Beatmungsgeräte, Spirometer und CPAP. Ferner finden sie Anwendung in der Industrie-Technik, darunter in den Bereichen HVAC und VAV sowie bei der Filterüberwachung.
Verantwortlicher für diese Pressemitteilung:
First Sensor AG
Frau Andrea Doster
Boschstr. 10
82178 Puchheim
Deutschland
fon ..: 089 80083-63
web ..: http://www.first-sensor.com
email : technical.press@first-sensor.com
Über die First Sensor AG
Im Wachstumsmarkt Sensorik entwickelt und produziert First Sensor Standardprodukte und kundenspezifische Lösungen für die stetig zunehmende Zahl von Anwendungen in den Zielmärkten Industrial, Medical und Mobility. Basierend auf bewährten Technologieplattformen entstehen Produkte vom Chip bis zum komplexen Sensorsystem. Trends wie Industrie 4.0, autonomes Fahren oder die Miniaturisierung der Medizintechnik werden das Wachstum zukünftig überproportional beflügeln. First Sensor wurde 1991 in Berlin gegründet und ist seit 1999 an der Frankfurter Wertpapierbörse notiert [Prime Standard I WKN: 720190 I ISIN: DE0007201907 I SIS]. Weitere Informationen: www.first-sensor.com.
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Aussagen in diesem Bericht, die sich auf die zukünftige Entwicklung beziehen, basieren auf unserer sorgfältigen Einschätzung zukünftiger Ereignisse. Die tatsächlichen Ergebnisse des Unternehmens können von den geplanten Ergebnissen erheblich abweichen, da sie von einer Vielzahl von Markt- und Wirtschaftsfaktoren abhängen, die sich teilweise dem Einfluss des Unternehmens entziehen.
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